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分流检测法
仪器最小可检漏率测量
仪器有效最小可检漏率测量按要求进行。
连接被检件应符合下列要求:
连接被检件,根据被检件容积的大小选择配置相适应的检漏系统,标准漏孔应安装在被检件真空阀一端;
在被检件真空阀和检潘阀未开启的状态下启动真空机组及检漏仪,打开检測阀和分流阀,在抽气管路达到稳定真空后,打开检漏阌和被检件真空阀。
缓慢调节分流阀,维持检漏仪工作压力稳定。
系统有效最小可检漏率测量应符合下列要求:
a)打开检测阀,当真空计指示压力小于被检件真空夹层压力后,打开被检件真空阀,分流阀状态符合规定;
b) 按要求进行测量。
被检件检漏应符合下列要求:
a)打开被检件真空阀、检测阀,检漏阀状态应符合规定,分流阀保持不变,记录本底指示值I。
b)将氮气罩套在真空绝热深冷设备上,且进行密封。
c)氦气罩及内容器充入已知浓度的氦气,一般情况下,充气后氦气的浓度应不低于10%。
d)估算氦气罩内氦气的浓度,并记录氦气浓度。
e)在规定的观察时间内读出并记录检漏仪输出指示值、观察时间一般不少于10min;测量完毕,关闭被检件真空阀。

 

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